[21a-S321-1~12] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

△ [21a-S321-11] スローライト導波路アレイを用いた二次元ビーム掃引

〇森 裕之¹、顧 暁冬¹、松谷 晃宏²、小山 二三夫¹ (1.東工大精研、2.半導体プロセス技術センター)

キーワード：ビーム掃引、スローライト、センサー

従来のMEMSやポリゴンミラーを用いたビーム掃引デバイスでは機械式であるため安定性，掃引速度，小型化に課題があった.その課題に対し,本研究ではAlGaAs系Bragg反射鏡(DBR)導波路アレイを用いて非機械式の小型高解像度二次元ビーム掃引を目指す.本報告では,レンズによるビームの波面補正効果とレンズの照射位置及び入射波長の制御による二次元ビーム掃引の測定結果を示す.