[21a-W321-1~12] 3.7 Laser processing

[21a-W321-10] Pulse broadening of femtosecond laser pulses focused by a pair of diffractive optical elements

〇Hidetoshi Nakano¹, Shin Sato¹, Shu Takeda¹, Jun Amako¹ (1.Toyo Univ.)

Keywords:femtosecond laser pulses,diffractive optical elements

高スループットのナノマイクロ加工技術への応用が期待されるビームアレイ作成に使用する回折光学素子対によって光軸外に集光されたフェムト秒レーザーパルスの集光特性を干渉型自己相関の配置を利用した実験装置で計測した結果を報告する。