[21a-W321-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[21a-W321-10] 回折光学素子対により集光されたフェムト秒レーザーパルス幅の評価

〇中野 秀俊¹、佐藤 慎¹、竹田 州¹、尼子 淳¹ (1.東洋大理工)

キーワード：フェムト秒レーザーパルス、回折光学素子

高スループットのナノマイクロ加工技術への応用が期待されるビームアレイ作成に使用する回折光学素子対によって光軸外に集光されたフェムト秒レーザーパルスの集光特性を干渉型自己相関の配置を利用した実験装置で計測した結果を報告する。