[21a-W321-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[21a-W321-8] イットリア安定化ジルコニアセラミックスに形成されたフェムト秒レーザー誘起周期構造形成のパルス幅依存性

〇欠端 雅之¹、屋代 英彦¹、大矢根 綾子²、伊藤 敦夫³、鳥塚 健二¹ (1.産総研　電子光技術、2.産総研　ナノ材料、3.産総研　健康工学)

キーワード：周期構造、ジルコニア、フェムト秒レーザー

イットリア安定化ジルコニアセラミックスに形成されたフェムト秒レーザー誘起周期構造のパルス幅依存性を評価した。パルス幅の増大と共に周期が変化することが確認された。チャープ依存性についても評価した。