[21a-W611-1~11] 8.1 プラズマ生成・制御

[21a-W611-1] マイクロ波を用いた大気圧ラインプラズマの生成(Ⅲ)

〇宮田 弘志¹、進藤 春雄¹、磯村 雅夫¹、桑畑 周司¹ (1.東海大院工)

キーワード：プラズマ、マイクロ波