[21a-W611-1~11] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [21a-W611-11] マイクロ波励起水中気泡内プラズマのパルス変調効果

〇(M1)北野 卓也¹、伊藤 卓也¹、鈴木 宏明¹、石島 達夫¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹ (1.金沢大)

キーワード：マイクロ波プラズマ、レジスト除去、ミニマル