[21a-W641-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

[21a-W641-2] Layer thickness dependences of piezoelectric response in tetragonal/rhombohedral Pb(Zr_xTi_1-x)O₃ artificial superlattice thin films

〇Tomoaki Yamada^1,2, Youhei Ebihara¹, Osami Sakata^3,4, Hitoshi Morioka⁵, Takanori Kiguchi⁶, Takao Shimizu⁴, Hiroshi Funakubo⁴, Masahito Yoshino¹, Takanori Nagasaki¹ (1.Nagoya Univ., 2.JST-PRESTO, 3.NIMS, 4.Tokyo Tech., 5.Bruker AXS, 6.Tohoku Univ.)

Keywords:ferroelectric thin film,artificial superlattice,piezoelectric property

本研究では、強誘電体の電気的境界条件が圧電応答に与える影響を明らかにするために、分極方位が異なる強誘電体を接合したヘテロ界面に着目した。Pb(Zr_xTi_1-x)O₃(以下PZT)のZr/Ti比xが異なる正方晶PZTと菱面体晶PZTを交互に積層した人工超格子薄膜を作製し、圧電特性の層厚依存性を調べた。