[21a-W641-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

[21a-W641-4] Long-term reliability of direct piezoelectricity on piezoelectric thin films

〇Takahito Nishi¹, Yuichi Tsujiura¹, Fumiya Kurokawa¹, Hirotaka Hida¹, Isaku kanno¹ (1.Kobe univ.)

Keywords:thin film,PZT,energy harvester

メンテナンスフリーセンサノードの電源として圧電薄膜を用いたMEMS振動発電素子の実現が期待されている．長期間の振動発電素子の利用において，発電特性の経時変化を考慮する必要があるが，これまで圧電薄膜の長期信頼性について系統的な測定結果は報告されていない．本研究では，ステンレス基板上に成膜したPb(Zr,Ti)O₃(PZT)薄膜を用いて振動発電素子を作製し，その発電性能および正圧電特性の経時変化を測定したため報告する．