[21a-W641-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[21a-W641-4] PZT圧電薄膜の正圧電特性経時変化

〇西 崇仁¹、辻浦 裕一¹、黒川 文弥¹、肥田 博隆¹、神野 伊策¹ (1.神大工)

キーワード：薄膜、PZT、振動発電

メンテナンスフリーセンサノードの電源として圧電薄膜を用いたMEMS振動発電素子の実現が期待されている．長期間の振動発電素子の利用において，発電特性の経時変化を考慮する必要があるが，これまで圧電薄膜の長期信頼性について系統的な測定結果は報告されていない．本研究では，ステンレス基板上に成膜したPb(Zr,Ti)O₃(PZT)薄膜を用いて振動発電素子を作製し，その発電性能および正圧電特性の経時変化を測定したため報告する．