[21a-W833-1~12] 11.4 Analog applications and their related technologies

[21a-W833-2] Development of Interleaved SSPD Array with Dielectric Multilayer

〇Taro Yamashita¹, Shigehito Miki¹, Hirotaka Terai¹ (1.NICT)

Keywords:single photon detector,nanowire,dielectric multilayer

近年、超伝導ナノワイヤ単一光子検出器（SSPD）は通信波長帯の単一光子を用いる研究分野を中心に精力的に応用が進んでいる。今回我々は、誘電体多層膜構造を採用することで、ライフサイエンス分野で重要となる可視波長帯へ素子構造の最適化を行い、さらに応答速度の向上を目的としてインターリーブ（入れ子）型アレイ素子の作製と特性評価を行った。その結果、50-60%のシステム検出効率と応答速度の改善を実証した。