[21a-W834-1~5] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[21a-W834-2] a-軸配向膜の作製と評価

〇高井 洋輔¹、塚原 志穂²、一瀬 中³、末吉 哲郎⁴、藤吉 孝則⁴、向田 昌志¹ (1.九大院工、2.九大工、3.電中研、4.熊大院工)

キーワード：薄膜作成、a-軸配向膜