[21p-H101-1~10] 応用物理分野で活躍する女性達　－第4回　プラズマと応用技術編－

[21p-H101-4] プラズマを応用したポリマー表面処理技術とバイオデバイス創製

〇高井 まどか¹ (1.東大院工)

キーワード：表面／界面、プラズマ

バイオデバイス作製において、表面処理は重要なプロセス技術である。ここでは、シリコーン系ポリマーの表面改質、異種材料との接着、薄膜作製といった機能付加について、酸素プラズマを用いた技術を紹介する。