[21p-H113-1~18] 6.6 Probe Microscopy

[21p-H113-15] Analysis of the photo-induced thermal deflection of thick cantilever

〇Junsuke Yamanishi¹, Yoshitaka Naitoh¹, Yanjun Li¹, Yasuhiro Sugawara¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:Scanning probe microscopy,Atomic force microscopy,Cantilever

近年、光の正面照射による原子間力顕微鏡を用いた光学特性の観測が報告されており、その研究において、試料の光学特性による力の信号と、カンチレバーの熱変形による振動の信号の分離は、非常に重要な要素である。そのため、本研究では、カンチレバーの光誘起の熱変形による振動に関する実験とその解析解を求め、シミュレーションを行った。