[21p-H113-1~18] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [21p-H113-4] 非接触原子間力顕微鏡を用いたSiとGe原子の識別

〇(PC)小野田 穣^1,2、仁木 康平²、杉本 宜昭^1,2 (1.東大新領域、2.阪大院工)

キーワード：原子間力顕微鏡、シリコン、ゲルマニウム

SiとGeは化学的性質が似ており、これまで走査プローブ顕微鏡によるSiGe表面での各原子の識別は困難であった。我々は、非接触原子間力顕微鏡を用いた力学的分光によって最大化学結合力を計測することでGe/Si(111)-(7×7)表面上での個々のGeとSi原子を識別することに成功した。その際、より高い化学活性度を持つ探針の方がGeとSiの識別に望ましいことが判明した。また、本手法を濡れ層であるGe/Si(111)-(5×5)に適用し、最表面層の原子種を明らかにした。