[21p-H116-1~22] 3.8 光計測技術・機器

[21p-H116-1] 広視野ヘテロダイン干渉振動計測法による一括平面振動計測

〇崔 森悦^1,4、丸山 悠太²、鈴木 孝昌²、小浦方 格³ (1.新大工、2.新大自然研、3.新大産学地域連携推進機構、4.国立研究開発法人日本医療研究開発機構、AMED-CREST)

キーワード：平面振動計測、フルフィールド振動計測、ヘテロダイン干渉計

本研究では、測定対象の広範囲な2次元平面のkHzオーダの振動を計測できる広視野ヘテロダイン干渉振動計測技術を開発した。実験では、30フレームレート程度のCCDカメラを使用し、9kHzの音波によって振動する銀蒸着面の振幅分布及び位相分布が計測でき、振動の様子が再現可能になった。これまで課題であった測定不能点の問題を2次元周波数フィルターを用いた画像処理によって解決した。本手法の測定誤差と感度について議論する。