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△ [21p-H116-5] 波長掃引型OCTを用いた多層構造試料の空間分解スペクトル計測
キーワード:光コヒーレンストモグラフィ、空間分解分光、近赤外分光計測
物体の表面形状や内部構造の断層像を計測する技術としてOCTが盛んに研究されている。OCTは光学干渉計内で参照光とプローブ光を合波させ干渉信号を計測することで断層像を取得する。一方でプローブ光は試料内媒質を伝播することから、波長に依存した光吸収の影響を受けることになる。したがって干渉信号を数値的に解析すれば、試料の各層毎の分光計測が可能であると我々は考えている(空間分解分光)。