[21p-H116-1~22] 3.8 光計測技術・機器

[21p-H116-6] エリプソメトリーによる3次元形状計測のための偏光照明法

小川 広暉¹、〇津留 俊英¹ (1.山形大地教)

キーワード：エリプソメトリー、形状計測

平面反射の概念を立体の一部に拡張すると、試料表面が滑らかな場合、観察方向から見える表面内の任意の反射点で反射の法則を満たす正反射光が必ず存在する。もし試料の屈折率、膜厚、構造などが既知であれば、反射楕円の形状から入射角と入射方位が逆算でき、試料の3次元形状が復元できる。本講演では、照明光として非偏光または右円偏光を用いた場合の立体による反射楕円分布の計測例について報告する。