[21p-H137-1~22] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[21p-H137-1] [Young Scientist Presentation Award Speech] Development of Wave Field Reconstruction Transmission Electron Microscope System with Focus Tracking Function

〇Takahiro Tamura¹, Yoshihide Kimura¹, Yoshizo Takai¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:Transmission Electron Microscopy,In-situ Observation,Wave Field Reconstruction

近年，透過型電子顕微鏡 (TEM)を用いて実用環境下における材料の高分解能その場観察が行えるようになっている．しかし通常のTEM像には球面収差以外にも様々な収差が含まれているため，定量的な動的観察はいまだ困難な状況にある．
そこで本研究ではリアルタイムで波動場の再構成が可能な実時間波動場再構成法 (Real-Time DIMP)を用いて，これらの収差を補正した定量的な動的観察が行えるTEMシステムの開発を行った．