[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

[21p-H137-11] Blunt W tip上へのAu被覆ナノピラミッドの形成

〇(M2)浅井 泰尊¹、熊谷 輝成¹、村田 英一¹、大島 忠平² (1.名城大理工、2.早大先進理工)

キーワード：微小電子源、電界イオン顕微鏡

我々は貴金属を被覆し作られる単原子電子源を研究してきた。前回の講演では、W針の後方にPdを電気メッキし、表面拡散でW針先端へ供給する作製法(表面拡散法と呼ぶ)を提案した。今回の講演ではAuとPtに表面拡散法を適用したので、結果を報告する。特に、Auを用いた表面拡散法で初めてBlunt W tip上にナノピラミッドが形成できた。Blunt W tipは機械的に頑丈であり、振動に対する耐性があるので、この組み合わせの実用性は高いと期待する。