[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

△ [21p-H137-12] 溝底から放出する二次電子の角度分布測定システム

〇金 惠眞¹、備前 大輔¹、波田野 道夫¹ (1.日立中研)

キーワード：二次電子、角度分布