The 63rd JSAP Spring Meeting, 2016

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Oral presentation

7 Beam Technology and Nanofabrication » 7.2 Applications and technologies of electron beams

[21p-H137-1~22] 7.2 Applications and technologies of electron beams

Mon. Mar 21, 2016 1:15 PM - 7:00 PM H137 (H)

Yoichiro Neo(Shizuoka Univ.), Hitoshi Nakahara(Nagoya Univ.), Yasuhito Gotoh(Kyoto Univ.)

4:45 PM - 5:00 PM

[21p-H137-14] Improvement of Picture Quality of Field Emitter Array HARP Image Sensor

〇Masakazu Nanba1, Yuki Honda1, Masayoshi Nagao2, Norifumi Egami3 (1.NHK, 2.AIST, 3.Kinki Univ.)

Keywords:electron beam,field emitter array,image sensor

小型な超高感度カメラの実現を目指して，a-Se内でのアバランシェ増倍現象を利用したHARP光電変換膜と，微小なスピント型電界放射陰極を並べた冷陰極アレイと組み合わせた冷陰極HARP撮像板の開発を進めている．これまで電界集束時において問題となっていた画質劣化（画像ムラ）の発生過程の解明と、画質改善のための具体的な指針が得られたので報告する。