[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

[21p-H137-14] 微小電界放出電子源アレイを用いた冷陰極HARP 撮像板の画質向上の検討

〇難波 正和¹、本田 悠葵¹、長尾 昌善²、江上 典文³ (1.NHK、2.産総研、3.近畿大)

キーワード：電子ビーム、電界電子放出源アレイ、イメージセンサー

小型な超高感度カメラの実現を目指して，a-Se内でのアバランシェ増倍現象を利用したHARP光電変換膜と，微小なスピント型電界放射陰極を並べた冷陰極アレイと組み合わせた冷陰極HARP撮像板の開発を進めている．これまで電界集束時において問題となっていた画質劣化（画像ムラ）の発生過程の解明と、画質改善のための具体的な指針が得られたので報告する。