[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

△ [21p-H137-16] 耐放射線性FEA撮像素子用CdTe光電変換膜のガンマ線耐性の評価

〇猪狩 朋也¹、小口 情ハート¹、岡本 保¹、後藤 康仁²、佐藤 信浩²、秋吉 優史³、高木 郁二² (1.木更津高専、2.京都大、3.大阪府大)

キーワード：CdTe、II-VI族化合物、フィールドエミッタアレイ

福島第一原子力発電所事故以来，原子炉内部の状態を的確に把握するため，高い放射線耐性を有した小型撮像素子の開発が急務となっている。本研究では小型撮像素子としてFEA撮像素子を提案し，その要素技術であるCdTe光電変換膜の放射線耐性の評価及びイメージセンサとしての構造最適化を行っている。今回，CdTe光電変換膜の放射線耐性の評価を行ったので報告する。