[21p-H137-1~22] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[21p-H137-2] Edge structures of nanopores formed in bilayer graphene sheets

〇(D)EMI KANO^1,2, AYAKO HASHIMOTO^1,2, MASAKI TAKEGUCHI^1,2 (1.Univ, Tsukuba, 2.NIMS)

Keywords:Graphene,Nanopore,TEM

薄膜に形成されたナノサイズの細孔（ナノポア）は、DNAの単一分子レベルでの塩基配列の読み取りを可能にする。前回我々は、単層グラフェン中の孔は容易に拡大又は修復されてしまいサイズや形状の維持が困難であるのに対し、2層グラフェン中では安定なナノポアが形成できると報告した。今回、2層グラフェンの積層方位、試料中の酸素残留量、温度、電子線照射量などがナノポアのエッジ形状やサイズに与える影響について報告する。