[21p-P11-1~11] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[21p-P11-10] パワーデバイス用GaNウエハのラマン散乱分光法による評価 (6)

〇安喰 和也¹、山本 秀和¹ (1.千葉工大工)

キーワード：GaN on GaN