[21p-P12-1~55] 2 Ionizing Radiation（Poster）

△ [21p-P12-1] CsI:Tl scintillator detector into Si-MEMS grids

〇Kento Tabata¹, Junichi Nishizawa¹, Tomoaki Masuzawa¹, Toru Aoki¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:scintillator

我々は大面積化が容易なシリコン基板をMEMS技術でグリッド状に加工し，グリッドの隔壁を用いてシンチレータの発光の拡散を抑えることでシンチレータを光学的に分割した．今回は90µm角のピクセル（隔壁厚10µm）としたが，シリコン基板を用いることで将来的にはさらなるピクセルの微小化や光素子との集積化を視野に入れることができる．今回はグリッド状に加工した基板の隔壁それぞれにシンチレータを積層させ，それぞれのグリッドごとの発光を確認した．