[21p-P14-1~7] 3.7 レーザープロセシング

[21p-P14-7] ホログラフィックデュアル偏光フェムト秒レーザー加工システムを用いたレーザースイーパ

〇阿部 哲也¹、長谷川 智士¹、高橋 秀知²、太田 道春³、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大オプト、2.アイシン精機、3.イムラアメリカ)

キーワード：フェムト秒レーザー加工、レーザークリーニング