[21p-P15-1~23] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[21p-P15-20] A study of sensitivity improvement by measuring enhanced Goos-Hänchen shift of a hydrogen sensor using guided-mode resonant grating on palladium surface

〇Akio Mizutani¹, Yoshihide Sato¹, Hisao Kikuta¹ (1.Osaka Prefecture Univ.)

Keywords:Hydrogen sensor,Guided mode resonant grating,Goos-Hanchen shift

パラジウム表面上共鳴格子型水素センサの高感度計測法として，干渉計測やエリプソメトリのような複雑な光学系が必要な位相差計測法に代わるグースヘンシェンシフト計測法を提案し，数値計算により感度を確かめた．その結果，水素濃度分解能は0.0025%と，直接位相差計測による分解能0.0005%に比べると大きくなったが，同じオーダーであり，簡易な光学系で高感度計測できる可能性を示した．