[21p-P15-1~23] 3.8 光計測技術・機器

[21p-P15-20] パラジウム表面上共鳴格子型水素センサのグースヘンシェンシフト計測による高感度化の検討

〇水谷 彰夫¹、佐藤 慶英¹、菊田 久雄¹ (1.阪府大工)

キーワード：水素センサ、共鳴格子、グースヘンシェンシフト

パラジウム表面上共鳴格子型水素センサの高感度計測法として，干渉計測やエリプソメトリのような複雑な光学系が必要な位相差計測法に代わるグースヘンシェンシフト計測法を提案し，数値計算により感度を確かめた．その結果，水素濃度分解能は0.0025%と，直接位相差計測による分解能0.0005%に比べると大きくなったが，同じオーダーであり，簡易な光学系で高感度計測できる可能性を示した．