[21p-P15-1~23] 3.8 光計測技術・機器

[21p-P15-3] 高分解能イメージングエリプソメーターの開発

〇金 蓮花¹、佐野 和夫²、藤尾 勲²、上原 誠² (1.山梨大工、2.(株)目白ゲノッセン)

キーワード：イメジングエリプソメータ