[21p-P16-1~12] 3.15 シリコンフォトニクス

[21p-P16-11] 円形マイクロブリッジ構造によるGOIの二軸引っ張り歪み増強

〇松下 奨¹、徐 学俊¹、澤野 憲太郎¹、丸泉 琢也¹ (1.都市大総研)

キーワード：マイクロブリッジ