[21p-P16-1~12] 3.15 シリコンフォトニクス

[21p-P16-9] ポリマー介在層付Si基板上へのInPチップヘテロ接合の検討

〇永井 秀樹¹、デン ボ¹、松島 裕一²、石川 浩¹、宇髙 勝之¹ (1.早大理工、2.早大GCS)

キーワード：ヘテロ集積