[21p-P2-1~7] 3.13 半導体光デバイス

[21p-P2-7] 赤外イメージングによる量子ドットアレイセンサの評価

〇黄 晨暉¹、田中 朋¹、各務 惣太^1,3、角田 雅弘³、渡邉 克之⁴、井上 晴²、難波 兼二²、五十嵐 悠一^1,3、田能村 昌弘¹、南部 芳弘^1,3、山本 剛^1,3、萬 伸一^1,3、荒川 泰彦^3,4 (1.NECスマエネ研、2.NECもの統本、3.東大ナノ量子機構、4.東大生研)

キーワード：量子ドットセンサ、フォーカルプレーンアレイ、赤外イメージング

熱赤外イメージング技術は産業，医療，資源探索などの分野に応用されており，更なる高感度が要求されている．近年量子ドット赤外線検出器は高感度かつ低暗電流な赤外線検出器として研究され，我々のグループは近接障壁層構造を持つ単素子QDIPの比検出能D*の向上を確認した．本研究ではその構造を採用した波長5.5 μmの赤外光に対して感度ピークを持つ QDIPによりアレイセンサを製作し、画像取得をするための性能評価およびイメージングを行った．