[21p-P3-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

△ [21p-P3-10] ホウ素ドープ超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の欠陥構造の評価

〇片宗 優貴¹、竹市 悟志²、吉武 剛² (1.九工大、2.九大)

キーワード：超ナノ微結晶ダイヤモンド、ダングリングボンド