[21p-P3-1~21] 6.2 Carbon-based thin films

[21p-P3-13] Cryogenic synthesis and physical properties of fluorinated amorphous carbon thin films

〇Takashi Saito¹, Takaaki Toshimori¹, Naoki Kobayashi¹, Tetsuya Sato¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:amorphous carbon

我々は、H原子のトンネル反応と電子線誘起反応を組み合わせた薄膜合成法(EBICVD-LTTR法)により、種々の炭化水素やフルオロカーボンを原料に用いてアモルファスカーボン薄膜(a-C:H, a-C:F:H)の極低温合成を試みてきた。a-C:Hは昇華温度よりやや低い温度で合成した場合緻密性が高く、サブサーフェスにおける水素定常濃度が薄膜の物性および構造を支配する主要因子であることを見出している。本実験では炭化水素にFを添加することによりHの引き抜き効果と構造に及ぼす影響を明らかにすることを目的とした。