[21p-P3-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

[21p-P3-16] DCマグネトロンスパッタリング法によって作製したCN膜の特性評価

〇野々村 秋人¹、伊藤 國雄¹、山本 伸一¹ (1.龍谷大学)

キーワード：窒化炭素