[21p-P3-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

[21p-P3-18] セルロースナノペーパー上に堆積したアモルファス窒化炭素薄膜の光誘起変形

〇青野 祐美¹、浅井 慎之介¹、小田原 啄¹、原田 人萌¹、能木 雅也² (1.防衛大材料、2.阪大産研)

キーワード：窒化炭素、光誘起変形

アモルファス窒化炭素（a-CN_x）の光誘起変形を応用した光駆動デバイス実現を目指し、透明で薄い紙であるセルロースナノペーパー（CNP）上にa-CN_xを成膜することを試みた。厚さ約0.02 mmのCNPを任意の大きさ、形状に加工した後、反応性高周波マグネトロンスパッタ法を用いて、a-CN_xを堆積させた。得られたa-CN_x／CNP試料に白色光を照射したところ、光誘起変形が観察された。