[21p-P3-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

[21p-P3-5] n型ダイヤモンド薄膜およびダイヤモンドデバイスの耐X線・γ線特性

〇大谷 亮太¹、廖 梅勇¹、上野 克宜²、佐々木 敬介²、田所 孝広²、坪田 雅功³、金子 純一³、小泉 聡¹ (1.物材機構、2.日立製作所、3.北大)

キーワード：ダイヤモンド、耐放射線性