[21p-P8-1~5] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[21p-P8-5] 水素イオン注入KNbO₃バルク単結晶中の水素の挙動：弾性反跳分析評価

〇鶴岡 遼太郎¹、新川 輝¹、西村 智朗¹、田沼 千秋¹、栗山 一男¹、串田 一雅² (1.法政大理工、2.大阪教育大学)

キーワード：KNbO3、強誘電体材料、水素イオン注入

水素イオン注入KNbO₃バルク単結晶は弾性反跳分析(ERDA)法を用いて評価した。KNbO₃への水素イオン注入は500keVで行った。1.5MeVヘリウムビームを用いたERDA測定は試料表面から深さ100nmまでの水素を評価できる。表面付近の水素濃度は5.1×10¹⁴cm^-2(未注入)、5.6×10¹⁴cm^-2(水素イオン注入)、3.4×10¹⁴cm^-2(水素イオン注入150 ℃アニール)であり、熱処理による水素の外方拡散を示している。水素イオン注入KNbO₃中の低抵抗層は、格子間水素等のプロトンによる誘起欠陥に起因する複合欠陥が浅いエネルギー準位を形成することが示唆される。