[21p-P9-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[21p-P9-5] 貼り合わせ法による一軸性歪みSiGe-on-Insulator(SGOI)の作製

〇(M2)松尾 拓哉¹、澤野 憲太郎¹ (1.都市大総研)

キーワード：半導体、貼り合せ法