[21p-S221-1~14] 13.10 化合物太陽電池

[21p-S221-13] 対向ターゲット式反応性スパッタ法によるCuInS₂薄膜及び太陽電池セルの作製と評価

〇鳴海 航太¹、上田 朝陽¹、山田 一樹¹、野本 隆宏¹、石川 亮佑¹、坪井 望¹ (1.新潟大)

キーワード：化合物薄膜、スパッタ