2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 金属酸化物薄膜の成膜装置

[21p-S222-1~9] 金属酸化物薄膜の成膜装置

2016年3月21日(月) 13:30 〜 18:15 S222 (南2号館)

山本 哲也(高知工科大)、大友 明(東工大)

15:00 〜 15:30

[21p-S222-4] ドイツにおけるスパッタ技術の最新動向

鈴木 巧一1 (1.サーフテックトランスナショナル)

キーワード:パルススパッタ、フラウンホーファーFEP、フラウンホーファーIST

最先端の実用的PVD技術の開発で知られるフラウンホーファーFEPとISTの最新のスパッタ技術開発状況として、FEPの精密光学・低温・低ダメージ用RMカソード、大電力矩形波パルス電源、分光式プロセス制御技術、透明ガスバリアフィルムへの応用例と、ISTのHPIMSなどを紹介する。