[21p-S223-1~17] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[21p-S223-11] β-FeSi₂エピタキシャル膜におけるラマンシフトの成長方位依存性

〇山崎 一輝¹、山口 陽己²、寺井 慶和^1,2 (1.九工大情報工、2.鹿児島大理工)

キーワード：シリサイド