[21p-S223-1~17] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[21p-S223-2] アンドープBaSi₂蒸着膜へのポストアニール効果

〇須原 貴道^1,2、村田 晃一²、Navabi Aryan²、Che Xiaoyu²、中川 慶彦¹、原 康祐³、黒川 康良¹、末益 崇⁴、Wang Kang L.²、宇佐美 徳隆¹ (1.名古屋大、2.UCLA、3.山梨大、4.筑波大)

キーワード：BaSi2、蒸着膜、ポストアニール

単接合太陽電池用の新材料として期待されるBaSi₂の蒸着膜を薄膜形成後にポストアニールを行い、ホール測定を行ってアニール前後での比較を行った。ポスアニール後、導電率はより半導体的な挙動をみせ電子密度はMBE膜での値に近づいた。