[21p-S223-1~17] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[21p-S223-3] 高速成膜によるBaSi₂蒸着膜の構造・特性変化

〇原 康祐¹、Trinh Thi Cham²、黒川 康良²、有元 圭介¹、山中 淳二¹、中川 清和¹、末益 崇³、宇佐美 徳隆² (1.山梨大クリスタル研、2.名大院工、3.筑波大院数理物質)

キーワード：バリウムシリサイド、太陽電池、真空蒸着

BaSi₂蒸着膜の電気的特性制御を目指して、堆積速度がキャリア密度と構造に与える影響を調査した。Hall測定の結果、堆積速度の増加により、電子密度は10¹⁹ cm⁻³から10¹⁷ cm⁻³まで低下することが分かった。また、同時に、ラマン散乱バンドの半値幅は低下したため、多数キャリアである電子は結晶欠陥に由来することが示唆される。