[21p-S223-1~17] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[21p-S223-4] Na内包II型Geクラスレート膜の表面処理および物性評価

〇杉井 南斗¹、萬條 宏行¹、向井 哲也¹、曾根 和詩¹、大橋 史隆¹、飯田 民夫²、久米 徹二¹、ヒマンシュ シャカール　ジャ¹、野々村 修一¹ (1.岐大工、2.岐阜高専)

キーワード：クラスレート、ゲルマニウム

これまでに我々はGe基板上や透明基板上におけるNa_xGe₁₃₆膜の合成について報告した。しかし、作製した膜の表面にはNaの化合物である不純物が存在しており、電子物性評価およびデバイス化のためには、表面不純物除去技術の確立が必要不可欠である。本研究では表面不純物除去を目的として様々な表面処理を行うとともに、物性評価を行った。