2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[21p-S223-1~17] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2016年3月21日(月) 13:30 〜 18:00 S223 (南2号館)

山口 憲司(原子力機構)、原 康祐(山梨大)

15:45 〜 16:00

[21p-S223-9] Si基板上の歪みGe薄膜のラマン評価

〇(B)酒井 駿也1、山村 和也1、西垣 宏1、蓮池 紀幸1、播磨 弘1、Woo Sik Yoo2 (1.京工繊大、2.WaferMasters Inc.)

キーワード:ゲルマニウム、歪み、ラマン分光法