[21p-S322-1~9] 1.3 新技術・複合新領域

△ [21p-S322-8] TiNを用いたPt超薄膜水素センサの熱的安定性改善

〇井並 祥太¹、古川 遼²、堺 健司¹、紀和 利彦¹、塚田 啓二¹ (1.岡山大自然、2.岡山大工)

キーワード：水素センサ