[21p-S323-1~7] 9.3 Nanoelectronics

[21p-S323-2] Observation of Coulomb Blockade on B and P Codoped Si Nanocrystals

〇Yasuhiro Higashikawa¹, Yasuo Azuma², Yutaka Majima², Shinya Kano¹, Minoru Fujii¹ (1.Kobe Univ., 2.Tokyo Tech.)

Keywords:Si nanocrystals,coulomb blockade

半導体量子ドットを単電子島とする単電子デバイスは、半導体量子ドットの離散化したエネルギー準位の間隔が大きいため、室温における安定動作が期待できる。我々は、極性溶媒中で単一に分散したB,P同時ドープSiナノ結晶の開発を行っている。本発表では、自己組織化を用いたボトムアップ手法により、このSiナノ結晶を単電子島とする単電子デバイスの作製を行い、その素子特性を評価したので報告する。