[21p-S421-1~20] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[21p-S421-1] 透明で伸縮可能な全カーボン薄膜トランジスタの作製と評価

大西 健夫¹、〇廣谷 潤¹、岸本 茂¹、大野 雄高^1,2 (1.名大工、2.名大未来研)

キーワード：カーボンナノチューブ、薄膜トランジスタ

伸縮可能なエレクトロニクスは電子皮膚や健康・医療デバイスなどのウエアラブルデバイスへの応用が期待される．様々な導電性材料と比較して，カーボンナノチューブ(CNT) 薄膜はキャリア移動度，透明性，伸縮性や柔軟性など多くの点で優れている．またCNT薄膜は薄膜トランジスタのチャネルのみならず，配線等の金属膜としても機能するため，集積回路を構成することが可能である．今回我々は，伸縮性を持つ基板上にオールカーボンデバイスを実現したので報告する．